光電週報第九期：V-CUT加工的毛邊問題

在V-CUT微結構製程中，毛邊產生一直是個問題。本文參考2003年發表的相關論文(原文請至 http://tiny.cc/vcut 下載, 連結失效請來信 info@moltek.biz )，將該論文的結論節錄如下。部份結論相當直覺，但仍具參考價值。(測試材料含鋁/黃銅/鈹銅)

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